X射线光电子能谱分析原理（XPS）简介-2

昨天我们认识了典型的XPS谱图，我们回顾一下昨天的双峰谱图，见下图。

对于典型的XPS谱图，当本征信号不强得时候，往往出现明显的“噪音”，为了让噪音效果弱化，我们可以增加扫描次数，延长扫描时间来降低噪音的效果，这个是做谱图的时候的一个小窍门。

除了噪音，XPS光电子能谱线经常会出现一些其它的峰，我们称之为“伴线”，下面我们来认识一下：

A.光电子线：这个是我们要的线。

B、俄歇线：

俄歇线举例：见下图右边两个尖峰，分别是O和C的俄歇线

C、XPS卫星线：很明显卫星线与其中一个主线有一个位移。

X射线卫星线：对应的Mg靶和AL靶。

D、能量损失线：

能量损失线举例：比较容易分辨出能量损失线。

E、电子的振激线和振离线：也比较容易找出

振激线与振离线举例：以Cu，CuO和Cu2O为例

F、鬼线：解释不了的线统一认定为鬼线

前面已经将XPS谱图各种可能出现的线都介绍了，那么就可以开始定性分析了，其实就是把能认出来的线全部标出来，然后剩下认不出的认定为鬼线，只是遵循一定的顺序会更有效率，如下：

XPS定量分析方法：就是计算出谱图中对应元素的浓度

1.元素灵敏度因子法：半经验公式

2. 谱线强度的确定：显然下面列的几种方法中，几何作图法误差比较大，称重法貌似误差更大，还是积分法和计算机拟合法更好一些。

3. 定量分析方法：深度剖析：

深度剖析法举例：

XPS应用：表面全元素分析，因为是事先通过XPS测定了元素周期表中各个元素在XPS下各个壳层能级的发射光子，所以，对于未知元素，只需测定其发射峰，并与标准图谱比对即可确认元素种类；

注意：XPS分析时常伴有Ti， O，Si，C的存在，其来源介绍如下：

表面窄区谱分析：

离子价态分析：价态不同，其峰位置不同

元素不同离子价态比例分析：

举例如下：

材料表面不同元素之间的定量分析：举例如下

当你想测定膜层成分、比例时，可以选择这种方法，当然这种方法需要将该膜层置于最表层，并且最好在10nm范围，如果太薄，有可能测不出，做之前最好先确认好是否满足XPS的要求。

好了，到这里就把XPS的原理，定性，定量分析，应用都介绍完了，大家可以先体会一下，有机会拿着样品去做一下，应该就能理解的更深刻了。

好了，今天的内容就是这些，感谢订阅。

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